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第三代半导体新材料碳化硅研发及产业推广

发布时间: 2024-09-23

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 外观设计
行业领域:
新材料技术,高分子材料
成果介绍
1、行业内公司主要量产产品尺寸集中在 4 英寸(半绝缘型)及 6 英寸(导电型),行业龙头美国科锐已成功研发 8 英寸产品。 2、长晶端:目前行业主流良率在30-40%左右(传统硅基在 90%以上)国内普片在10%以下,有较大提升空间。机加工端: 碳化硅硬度与金刚石接近(莫氏硬度达 9.5),切割、研磨、抛光技术难度大,该环节行业主流良率在 70-80%左右,国内良率受制于单晶良率及后道加工工艺技术限制,大幅低于国际平均水平,存在较大技术工艺瓶颈,需大幅提升。 3、长晶工艺不成熟,长晶的速度极为缓慢,行业平均水平每小时仅能生长 0.2-0.3mm,较传统晶硅生长速度相比慢近百倍以上。 4、国内单晶生长高度在40mm以下。5、国内行业生产成本高企。 我司率先突破关键技术,总体技术与工艺水平在国内遥遥领先,核心指标已远超国内同行,具体体现在: 1.单晶良率:平均50%以上,国内同行真是水平均达不到该指标的三分之一。 2.规格:晶棒规格长度不低于80-100毫米,单晶棒及晶片直径可达6英寸。
成果亮点
1、技术领先性:总体技术与工艺水平在国内遥遥领先,核心指标已远超国内同行; 2、2023年上半年投入几台设备试产,预计在半年之内完成试产,试产成功之后,启动第一期100台套碳化硅设备投入建设。年经营销售额预计达到7.7亿元。净利润4亿元以上,一期投产运行顺利,二期计划按1000台套规模建设,计划26年完成上市。
团队介绍
安徽承禹半导体材料科技有限公司
成果资料