科创中国

新能源及节能技术,高新技术改造传统产业

本发明公开了一种热场悬挂单晶炉及方法，包括保温箱，保温箱的内部设置有坩埚件，坩埚件的底部固定连接有坩埚托盘，坩埚托盘的底部固定连接有坩埚托杆。本发明由第一电机通过螺杆带动调节套向下移动，使散热机构进入导流筒的内部进行隔热散热，保证热量不流失，之后通过旋转机构将导流筒的内壁进行清理，最后通过电磁温度补偿机构将加热套进行温度补偿，保证加热的稳定性，解决了现有单晶炉热场的温度控制不精准，不能进行阶梯式的温度控制，影响成型效率，同时成型后的硅棒散热会导致热场热量流失严重，损耗能源较多，不能节省能源，降低了资源的利用率的问题，具备了温控精准散热节能的优点。

本发明公开了一种热场悬挂单晶炉及方法，包括保温箱，保温箱的内部设置有坩埚件，坩埚件的底部固定连接有坩埚托盘，坩埚托盘的底部固定连接有坩埚托杆。本发明由第一电机通过螺杆带动调节套向下移动，使散热机构进入导流筒的内部进行隔热散热，保证热量不流失，之后通过旋转机构将导流筒的内壁进行清理，最后通过电磁温度补偿机构将加热套进行温度补偿，保证加热的稳定性，解决了现有单晶炉热场的温度控制不精准，不能进行阶梯式的温度控制，影响成型效率，同时成型后的硅棒散热会导致热场热量流失严重，损耗能源较多，不能节省能源，降低了资源的利用率的问题，具备了温控精准散热节能的优点。

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