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本发明公开了一种基于位移差分的 MEMS 重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元；前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量，后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量，第一组梁和第一检验质量构成第一机械振子，第二组梁和第二检验质量构成第二机械振子，第一振子单元和第二振子单元相向正对设置，第一机械振子和第二机械振子的敏感轴位于同一直线上，第一检验质量上的电容阵列与第二检验质量上的电容阵列构成位移检测电容，通过位移检测电容测得检验质量的位移差进而得到

测量结果更加准确，可靠性高，且体积小，质量轻，对于载荷敏感的稳定平台和隔 震平台的研发非常有利。 [0006] 为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种MEMS重力梯度仪，其特征在 于，包括由第一振子单元和第二振子单元组成的敏感单元;所述第一振子单元包括在同一 硅片上加工得到的第一外围框架和与所述第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质 量，所述第二振子单元包括在同一硅片上加工得到的第二外围框架和与所述第二外围框架 通过第二组梁连接的第二检验质量，所述第一组梁和所述第一检验质量构成第一机械振 子，所述第二组梁和所述第二检验质量构成第二机械振子，所述第一振子单元和所述第二 振子单元相向正对设置，所述第一机械振子和所述第二机械振子的敏感轴位于同一直线 上，所述第一检验质量上的电容检测阵列与所述第二检验质量上的电容检测阵列构成位移 检测电容器。

现有专任教师3000余人，其中教授1000余人，副教授1300余人;教师中有院士16人，长江学者特聘教授59人、长江学者青年项目15人，国家杰出青年科学基金获得者65人，“973计划”项目首席科学家15人，重大科学研究计划项目首席科学家2人，国家重点研发计划项目首席科学家24人，973计划(含重大科学研究计划)青年科学家3人，优秀青年科学基金获得者43人，国家级教学名师9人，“万人计划”领军人才29人、青年拔尖人才21人，教育部新世纪优秀人才支持计划入选者224人，国家百千万人才工程入选者39人。