成果介绍
本发明公开了一种大能量纳秒脉冲激光器,包括:全反射腔镜、振荡器聚光腔、激光输出镜、预放聚光腔、扩束系统、非线性晶体和分光镜。全反射腔镜和激光输出镜构成光学谐振腔,激光经过光学谐振腔产生;振荡器聚光腔设置在光学谐振腔内,振荡器聚光腔内设有增益介质;预放聚光腔内设有增益介质;扩束系统用于改变激光的光斑直径;非线性晶体用于将激光二倍频;分光镜至少设有两个,用于将激光分光并输出。本发明增加扩束系统,能够使激光的光路口径匹配不同的放大器,以便于后续提高激光的能量和功率,并通过非线性晶体将激光二倍频后通过分光镜将激光输出,并且保证了激光器能够全天稳定运行。
成果亮点
目前随着国内芯片研发技术的迅速发展,激光器作为半导体日常生产和研发的核心器件的激光光源,更是必不可少。而国内大能量固体激光器不仅输出能量受限,激光技术水平在激光输出光束分布上存在一定缺陷,输出光斑有明显的衍射环,同时在光斑分布上存在高峰值功率分布点,会出现光束传输过程中损伤后期部分光学系统中光学损伤现象。能量高、光斑大、光斑存在强点的状态可能会造成激光晶体、光学器件损坏,传输过程中经过放大系统,可能引起更严重的损伤,如造成器件出现贯穿状伤害,甚至是激光系统的整体报废状态。所以面对大能量纳秒脉冲固体激光器,国内的大于3J的大能量纳秒脉冲激光器,目前无法实现全天稳定运行。
团队介绍
温州科技大市场是由市科学技术局主导建设,市科技合作交流中心负责运营的促进技术成果向现实生产力转化的公共科技服务平台,目前已入驻一批技术转移、投资融资、知识产权等科技服务机构,合力打造集“展示、交易、服务、共享、交流”五位一体的技术市场体系。随着温州获批建设国家自主创新示范区,作为温州自创区建设的重要内容和支撑平台,温州科技大市场全面开启大数据支撑下的“全方位布局+多元化路径+精准化服务”的***时代,即打造“三级融合”、“五端激活”、“十方联动”全方位服务体系,畅通绿色通道、优化直达专线、搭建跨线桥梁,多元化提质优化特色品牌活动,立足大数据、信息化,引入佐创智推APP、科技成果大数据精准匹配系统、企业个性化精准服务平台,科技资源配置的市场化和科技成果的商品化、产业化。
温州科技大市场运营单位为温州市科技合作交流中心,是温州地区最早从事技术贸易、技术市场管理的科技服务机构,是温州市目前唯一一家国家级技术转移示范机构和省国家科技成果转移转化示范区首批示范单位,是浙江省和温州市首批重点科技服务机构。
成果资料