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本实用新型公开了一种硅片外形加工用固定治具，包括底板，所述底板上设有若干间隔设置的凸台，所述凸台设有从所述凸台的顶面纵向贯穿所述凸台和所述底板的吸附孔，所述凸台的顶面设有粘结胶槽，所述粘结胶槽与所述吸附孔相互分隔，所述粘结胶槽的侧边设有延伸至所述凸台的顶沿的溢流槽。本实用新型可保证小尺寸硅片的稳定固定，便于加工硅片表面及边缘，使用方便，提高效率。

本实用新型技术方案如下：一种硅片外形加工用固定治具，包括底板，所述底板上设有若干间隔设置的凸台，所述凸台设有从所述凸台的顶面纵向贯穿所述凸台和所述底板的吸附孔，所述凸台的顶面设有粘结胶槽，所述粘结胶槽与所述吸附孔相互分隔，所述粘结胶槽的侧边设有延伸至所述凸台的顶沿的溢流槽。进一步地，所述凸台与所述底板为可拆卸连接。设置可拆卸的凸台，可以根据加工的硅片的大小选择合适顶面面积的凸台，可以保证硅片可靠的粘结吸附于凸台表面，确保加工过程中硅片的稳定性，也减少硅片在凸台顶面的悬出量，减少加工过程中硅片的碎裂风险。

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