成果介绍
本项目致力于开发基于氮化硅掩膜的微针制备技术,实现大尺寸多棱锥形微针晶片
制备、高密度楔形微针晶片制备,以及手动按压型微针导入模组制备,针对目前市
面纳米微晶产品导入深度浅、微针密度低、操作专业性要求高的缺点,开发出多种
操作便捷、性能优异、应用广泛的消费级单晶硅微针产品,可广泛用于家用面部皮
肤改善、问题肌肤治疗、生发育发等领域。
我司团队具备 MEMS 领域,单晶硅微针加工技术方面的创新能力,是国内为数不多的
具备单晶硅微针加工制备工艺的研发公司,且处于产业链上游,中游,未来市场前
景良好。现阶段企业以单晶硅微针晶片和模组产品为主,已上市的产品包括
***~*** 多棱锥形单晶硅微针晶片、按压型微针导入模组及附属产品,相关产
品已取得医疗器械生产许可证、医疗器械注册证。目前正在与科研院校用动物实验
论证微针穿刺深度、促渗点数量、促渗吸收时间等因素分别对目标药物吸收的影响,
为行业提供客观、直观的数据支撑,为公司微针产品产业化打好基础。
成果亮点
1、采用基于氮化硅掩膜的单晶硅湿法腐蚀技术,用低压气相沉积制备
的氮化硅掩膜作为单晶硅腐蚀掩膜,掩膜耐腐蚀性能提升 80 倍,大幅
降低工艺成本,并将微针最大制备高度从 *** 提高到 *** 以上。
2、通过在单晶硅微结构侧面制作抗腐蚀掩膜,实现楔形硅微针阵列的
制备,最大排列密度可以达到传统工艺的 8 倍以上。
团队介绍
姓名 性别 年龄 学历 工作单位 职务/职称
俞骁 男 39 博士 苏州揽芯微纳科技有限
公司
总经理、执行董
事
王新国 男 33 硕士 苏州揽芯微纳科技有限
公司 副总经理
袁志山 男 36 博士 广东工业大学 技术顾问
冷桂婷 女 37 本科 苏州揽芯微纳科技有限
公司 销售经理
范莉莉 女 44 本科 苏州瑞亚会计师事务所
有限公司 财务经理
成果资料