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微型减速器是是微型器件中的重要微机械传动构件，主要是用于传递动力和运动。微齿轮构件具有体积小，传动紧凑等优点，在微创手术、微型机器人中实现动力传递和实现运动转换等功能。微型减速器是 MEMS微执行器中具有代表性的器件之一，是整个机械传动领域研究的重要方向之一，不仅在当代军工行业和民用行业中具有极其广阔的应用远景，而且是未来微型机械化发展中必不或缺的一环。团队以微型减速器作为高强度金属三维MEMS制造技术的应用验证，在微型机械传动构件的动力和运动传递的重大活动或重要场所予以示范应用，解决航空航天的微纳卫星、现代医学的微创手术以及在微型机器人中动力传递和运动转换实现的社会关切重大问题，惠及智能化医疗、微型飞行器救援等民生。目前已经完成微型齿轮、微型减速器的制备，后续将继续开展微型减速器的性能测试。

具备高强度运动能力和复杂功能结构的高精度MEMS机械系统在航空航天、医疗器械、深海探索和国防装备等领域有重要的应用价值，而微米级的复杂动力3D精密结构制造技术是其关键。目前已有的传统加工技术难以制造长寿命、高强度、具备运动能力的复杂嵌套镂空MEMS机械器件，因而该领域近二十年来尚未有达到实用程度的突破性进展，这已经成为制约该领域技术发展的瓶颈问题。项目团队提出的基于高强度金属三维MEMS制造技术，能很好地解决复杂动力机械结构等高精度、高强度动力机械结构制造中的基础核心技术。

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