科创中国

制造业,电气机械和器材制造业

本项目通过对栅指钝化接触(PolyFinger)结构相关的隧穿氧化层生长工艺、多晶硅沉积和掺杂工艺、钝化结构栅指图形化工艺的研究开发，已掌握了PolyFinger结构技术的工艺难点和关键点，具有了成熟的工艺方案，将PolyFinger结构用于PERC电池的前表面，形成栅指钝化接触结构电池。整合PolyFinger结构的相关工艺和原PERC电池的工艺，重点对磷扩散工艺和金属化工艺进行匹配性优化调整，形成了P型PERC电池升级栅指钝化接触结构电池生产的整套工艺方案。通过对栅指钝化接触结构中的隧穿氧化层和掺杂多晶硅层工艺优化，获得电池隐开路电压iVoc≥695mV,通过栅指钝化接触PERC电池的整套工艺方案的开发，小批量实验电池平均效率达到***%以上，最高效
率达到***%以上。


整合PolyFinger结构的相关工艺和原PERC电池的工艺，重点对磷扩散工艺和金属化工艺进行匹配性优化调整，形成了P型PERC电池升级栅指钝化接触结构电池生产的整套工艺方案。通过对栅指钝化接触结构中的隧穿氧化层和掺杂多晶硅层工艺优化，获得电池隐开路电压iVoc≥695mV,通过栅指钝化接触PERC电池的整套工艺方案的开发，小批量实验电池平均效率达到***%以上，最高效
率达到***%以上。

青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司与黄河水电西宁太阳能电力有限公司合作研究。