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电子级多晶硅表金属杂质污染控制研究


发布时间: 2023-11-16

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 合作开发
成果类型： 新技术
行业领域：
制造业,化学原料和化学制品制造业
成果介绍
项目主要通过研究电子级多晶硅收割、破碎、包装、酸洗过程对产品表金属污染控制措施，实现了硅块自动破碎、包装，降低了人为操作多晶硅棒、硅块表面的污染，同时优化了酸洗工艺，提高了酸洗过程硅块表金属去除率。通过对工艺设备和流程管理的改进优化，硅块总表面金属小于1ppbw,酸消耗量降低了30%。实现了硅棒收割及后处理过程的自动化操作，可有效控制硅块表金属质量。
成果亮点
实现了硅块自动破碎、包装，降低了人为操作多晶硅棒、硅块表面的污染，同时优化了酸洗工艺，提高了酸洗过程硅块表金属去除率。通过对工艺设备和流程管理的改进优化，硅块总表面金属小于1ppbw,酸消耗量降低了30%。实现了硅棒收割及后处理过程的自动化操作，可有效控制硅块表金属质量。
团队介绍
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司与青海芯测科技有限公司合作研发。青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司，成立于2006年12月27日，企业的经营范围为:硅产品和太阳能发电设备的生产、销售；多晶硅、三氯氢硅、四氯化硅销售
成果资料