Nano-g级高精度MEMS加速度传感器及仪器

发布时间: 2023-11-08

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：合作开发

成果类型：发明专利

行业领域：

高端装备制造产业

成果介绍

本成果包括两个部分，分别为成熟度较高且经过应用验证的Nano-g级电容式MEMS加速度传感器及仪器，以及较为前沿的基于量子增强效应的Nano-g级光学微加速度传感器。前者采用硅基微纳加工工艺，可实现批量的电容式高精度MEMS加速度传感器芯片，目前该项成果的相关技术指标属于在国际上并跑状态，并已经成果搭载长征五号B型火箭在我国新一代载人航天飞船试验船上进行过微重力环境测量应用，性能卓越，技术可靠，成熟度高。后者采用量子精密传感相关技术，采用光学方案作为信号读出手段，有望突破标准量子极限噪声，实现更高精度和灵敏度的探测。目前相关技术指标在世界上处于领跑状态，技术先进，发展潜力大。

成果亮点

基于光电器件的量子传感和量子精密测量技术是提高极弱加速度传感和测量的极具发展潜力的方向。本成果结合量子传感的高灵敏度优势和先进微纳制造的小型化优势，实现小型化高精度加速度传感器及重力测量仪器，未来将打破国外技术垄断，对智能交通、能源开发和灾害预警等相关领域的市场竞争格局带来颠覆性变化。

团队介绍

周泽兵华中科技大学物理学院教授，现为引力中心主任，精密重力测量国家重大科技基础设施建设总经理，引力波探测团队负责人，作为负责人主持相关型号、载人航天工程、国家自然科学基金重点和重大科研仪器等科研项目20余项，目前在研科研项目合同经费1亿余元，发表科研论文100余篇，获批专利授权20余项，软件著作权10余项，提交了多套航天产品，研制的空间惯性传感器先后完成了四次空间飞行实验，获得省部级一等奖2项，培养博士生20余人，硕士生20余人，博士后出站5人。

成果资料

产业化落地方案

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成果综合评价报告

评价单位：“科创中国”军民两用技术应用产业服务团 (中国兵工学会) 评价时间：2023-11-15

王小绪

南京理工大学

教授

综合评价

该成果由成熟度较高且经过应用验证的Nano-g级电容式MEMS加速度传感器及仪器，以及较为前沿的基于量子增强效应的Nano-g级光学微加速度传感器结合而成，对传统传感器有一定的引领性作用，技术创新性很强，且技术成熟，投资回报比较可靠，目标市场处于成长市场，但该市场很快会出现多种技术路线，产品竞争会很激烈。总体而言，该项目技术思路方向很好，未来市场空间大，有利于当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。

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