科创中国

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（1）提出了基于双光纤共球耦合的微位移传感方法，研制成功深微孔瞄准传感器的测量系统，解决了测头可测深度和孔径大小光学系统景深受限制的难题，可测最小孔径达***，深径比不大于9：1；（2）提出了基于微焦准直的光纤微位移传感方法，研制成功深微孔瞄准传感器与测量系统，其位移放大倍率达2000倍～10000倍，分辨力达1nm，深微孔瞄准传感器具有深5mm的测量能力，可测最小孔径达***，解决了大深径比微孔径超精密测量难题。（3）提出了基于球形电容极板的微位移传感方法，研制成功深小孔瞄准传感器与测量系统，可测最小孔径达***，可测孔深径比不大于13:1，测量分辨力达4nm，解决了毫米级大深径比小孔超精密测量难题。（4）研制成功国内第一台大深径比微孔和小孔超精密测量仪，填补了国内空白。

在深微孔测量技术领域，综合水平最高、最具权威性的是德国联邦物理技术研究院（PTB）。该单位在完成基于微光珠传感的深微小孔测量技术后，研制出基于上述技术原理的测量标准装置。本项目研制的“大深径比微/小孔径超精密测量装置”经与PTB进行的对比实验表明：双方对标准样件***的微测试结果吻合；PTB可测量的最小孔径为***，本项目为***；PTB对百微米量级深微孔的可测深度为***，本项目对百微米量级的深微孔的可测深度为***；PTB的扩展不确定度为***，本项的扩展不确定度为***。在可测最小孔径、可测最大深度和测量精度三个核心指标方面均优于目前国际最高水平。

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