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物理

本发明提供了一种法布里‑珀罗腔测微压的解调方法、系统及装置，包括：设置参考压力；获取所述参考压力下法布里‑珀罗腔对应的第一频谱；获取第一特征值，在所述第一特征值的序列中选择第一新度量；根据所述第一新度量与所述参考压力构建函数关系；获取测量压力时法布里‑珀罗腔对应的第二频谱；获取第二特征值，选择与所述第一新度量序列相同的所述第二特征值作为第二新度量；根据所述第二新度量与所述函数关系得到解调后的压力测量值。本发明能够避免解调误差以及解调误差增大和解调速度降低的问题；同时，本发明所述的方法能够直接得到压力测量值，无需先解调出腔长再换算成压力，避免因压力与腔长不是严格线性关系而导致的解调误差。

1.一种法布里-珀罗腔测微压的解调方法，其特征在于，包括： 设置参考压力； 获取所述参考压力下法布里-珀罗腔对应的第一频谱； 获取第一特征值，在所述第一特征值的序列中选择第一新度量； 根据所述第一新度量与所述参考压力构建函数关系； 获取测量压力时法布里-珀罗腔对应的第二频谱； 获取第二特征值，选择与所述第一新度量序列相同的所述第二特征值作为第二新度量； 根据所述第二新度量与所述函数关系得到解调后的压力测量值。 2.根据权利要求1所述的一种法布里-珀罗腔测微压的解调方法，其特征在于，所述“获取所述参考压力下法布里-珀罗腔对应的第一频谱”，包括： 通过以下公式，获得法布里-珀罗腔在波数域中光源的干涉光谱： 其中，I0是光光源的功率，γ是边缘可见度，L是法布里-珀罗腔的光程长度，等效初始相位，k波数；是去除平均值和归一化后的交流分量。

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