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一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线

发布时间: 2023-11-02

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 发明专利
行业领域:
制造业
成果介绍
本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室,开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室,收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室,放卷储料机构的前方设有热合机构,收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构;缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构,并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊,并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制,省去了中间换卷及抽真空的时间,大大提高了镀膜效率
成果亮点
本发明的目的在于克服现有磁控溅射卷绕镀膜设备的上述不足,提供一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,采用本发明的技术方案,利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊,并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制,省去了中间换卷及抽真空的时间,大大提高了镀膜效率,且减少了因换卷而引起的基材浪费,降低了镀膜成本;同时采用回转换靶装置实现了在不打开镀膜真空室的情况下即可及时快速更换阴极靶,为多卷基材的连续镀制提供了保障。
团队介绍
朱锡芳 杨辉 许清泉 陈功 徐安成 常州工学院,坐落于经济发达、交通便捷、美丽富饶的江南历史文化名城江苏常州,是一所拥有工、文、理、经济、管理、教育等学科门类、办学特点鲜明的应用型本科高校,是教育部批准的"卓越工程师教育培养计划"试点高校之一。 学校前身为创建于1978年的常州市七二一工业大学;2000年,常州工业技术学院、常州市机械冶金职工大学合并组建常州工学院。学校是教育部和江苏省卓越工程师教育培养计划试点高校、江苏省服务外包人才培养试点高校。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位:- (-) 评价时间:2023-11-22

刘春林

常州大学

教授

综合评价

采用本发明提供的技术方案,与已有的公知技术相比,具有如下显著效果: (1)本发明的一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,其缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构,并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上,利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊,且提前达到镀膜条件,并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制,省去了中间换卷及抽真空的时间,大大提高了镀膜效率,且减少了因换卷而引起的基材浪费,降低了镀膜成本; (2)本发明的一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,其开卷室、放卷储料室、收卷储料室和收卷室内均设有摄像头,摄像头均与监控计算机相连,通过摄像头实现远程监控镀膜生产线各个环节的工作状况,可以及时进行相关操作,减少了工人现场观察的劳动量; (3)本发明的一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,其基材变向机构包括推顶机构和基材变向托板,基材变向托板一端铰接,一端悬空,推顶机构设于基材变向托板的下方,推顶机构上升推动基材变向托板向上翻转,则被切断机构切断的基材进入一个收卷室内,并缠绕于该收卷室内的收卷辊上;推顶机构下降使基材变向托板恢复水平,则被切断机构切断的基材通过基材变向托板进入另一个收卷室内,并缠绕于该收卷室内的收卷辊上;结构简单,控制方便,实现了准确换辊收卷; (4)本发明的一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线,其磁控溅射镀膜机构包括回转换靶装置、与回转换靶装置位置相对应的两面开口的阴极小室和安装于回转换靶装置上的靶芯,采用回转换靶装置实现了在不打开镀膜真空室的情况下即可及时快速更换阴极靶,为多卷基材的连续镀制提供了保障;
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