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扫描光声（热波）显微镜

发布时间: 2023-11-02

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,计算机及网络技术
成果介绍
当固体物质受到周期性强度调制的光束照射时，物质吸收辐射能而受激发，然后通过非辐射去激励而将部分或全部吸收的光能转化为热能。周期性热流使周围的介质热胀冷缩，因而激发声波。检测声波信号可得到声波携带的热信号的振幅和相位，从而能分析样品在不同深度的结构、性质和参量，实现分层成象。
成果亮点
可应用于半导体材料和器件（特别是集成电路）的研究、分层检测及其对生产工艺流程的控制等；层状或不均匀材料的分层研究和检测；各种固体残余应力的研究；生物（包括动物和植物）组织、大分子结构的分层研究和检测，组织损伤研究等。
团队介绍
南京大学
成果资料