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光热探针 -- 半导体离子浓度测试仪

发布时间: 2023-11-02

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,计算机及网络技术
成果介绍
光热探针技术是建立在光声显微镜和激光扫描显微镜基础上，利用调制光反射技术发展起来的一种新型探针技术。利用一束强度调制激光聚焦在样品表面，对半导体样品，入射的光能激发的光生载流子，从而引起表面光反射率变化，用另一束探测光可检测此反射率的变化。由于光生载流子数目直接与注入的离子浓度相关，因此可测定表面注入离子浓度的分布。
成果亮点
近年来，曾利用本仪器对各种试样（如半导体材料及器件），进行了光声分层研究， 对其中的缺陷和微细结构进行成象检测，获得很有意义的成果。
团队介绍
南京大学
成果资料