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共焦激光扫描显微镜 (附光电成象检测功能)

发布时间: 2023-11-02

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,计算机及网络技术
成果介绍
激光扫描显微镜是建立在光学显微镜及各种扫描显微镜基础上的一种新型的扫描成象系统。利用聚焦的激光束在样品表面扫描，同时利用光电检测器件接收样品反射光（或透射光），样品结构的变化使反射光（或透射光）强度改变，因而使光电检测器的输出电流改变，经信号处理，同步显示在计算机屏幕上。
成果亮点
本仪器采用共焦方法，还可以在光束能透入的范围内实现深度剖面的分层成象，因此成为研究薄膜材料、集成电路及生物组织乃至细胞等的微细结构及其深度剖面的非常有效的工具。对半导体器件，由于光电效应，可通过适当负载直接接收光电流，将光电信号通过成象处理，即可得到光电成象。
团队介绍
南京大学
成果资料