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具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片

发布时间: 2023-11-02

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术许可
成果类型: 发明专利
行业领域:
电子信息技术,软件
成果介绍
本项目具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片,包括:传感器本体;应力隔离元件,应力隔离元件包括一对横向设置的隔离梁和设置于所述隔离梁之间的隔离框,所述隔离梁两端与所述传感器本体相连,所述隔离框通过连接部与所述隔离梁相连;敏感元件,敏感元件包括质量块和一对横向设置的挠性梁,所述挠性梁连接所述质量块和所述隔离框;压敏电阻,压敏电阻以所述质量块的中心为对称中心对称设置于所述质量块的两侧,且位于连接部的宽度范围内;设置于所述传感器本体上的金属焊盘,所述压敏电阻通过引线与所述金属焊盘相连。本发明的传感器芯片具有结构合理,封装工艺简单,稳定性高,便于大规模、低成本生产的特点。
成果亮点
通过在传感器本体内设置应力隔离元件,将敏感元件设置于应力隔离元件中,通过隔离梁和隔离框阻止传感器芯片封装过程中干扰应力向压敏电阻和敏感元件传导,提高了传感器的测量精度和工作稳定性,降低了传感器芯片对封装工艺和材料的要求,简化了传感器芯片的封装工艺,降低了封装成本,从而该传感器芯片更适于进行低成本、大规模生产。本发明的传感器芯片具有结构合理,封装工艺简单,稳定性高,便于大规模、低成本生产的特点。
团队介绍
“高新技术发展与战略管理”团队是以王宏起教授为带头人发展起来的黑龙江省高校哲学社会科学首批创新团队,现有教授5人、副教授5人、讲师3人。团队积极与黑龙江省科技厅等政府部门合作,为黑龙江省科技创新管理提供了一系列科技管理咨询服务,现已成为黑龙江省双一流学科、特色优势学科、黑龙江省“优秀”重点学科“管理科学与工程”学科及其博士点和博士后站的牵头方向。
成果资料