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本发明提出了一种新的紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法，以克服传统机械加工技术难以达到交叉位敏阳极的精度，以及一般光刻技术无法精细的加工出上导电层及绝缘层的技术难题。本发明采用PCB加工技术，主要步骤有：预制光刻掩膜板、刻蚀阳极图案、模块键合、光刻掩膜板精确覆盖、飞秒激光切除绝缘材料、过孔沉铜接口连接。本发明加工精度高，工艺简洁，成品率高，成本低，能够大规模量产。

综合了较为成熟的PCB工艺和飞秒激光加工技术，可以加工出精度完全满足交叉位敏 阳极技术指标的阳极图案，避免了发生极间串扰，克服了传统机械加工方法加工精度低, 工艺复杂，成品率低，成本高等缺点。采用PCB加工技术，对双面覆铜PCB板的加工可 以达到交叉位敏阳极的精度要求，双面覆铜PCB板也易于后期的飞秒激光加工处理。 在交叉位敏阳极导电条的末端加工出导电过孔，在交叉位敏阳极背面设置输出接口， 可以减小阳极尺寸，满足对探测器尺寸有苛刻要求的总体装配需求。 本发明加工精度高，工艺简洁，成品率高，成本低，能够大规模量产。 通过相适配的阳极位置解码器件，能够准确地实现电荷分割，实现光子计数功能，能 够广泛应用于空间极微弱紫外、极紫外波段的成像探测，在军事、天文学、高能物理学、 化学、量子电子学、超微弱生物发光探测等领域发挥重要的作用。

“高新技术发展与战略管理”团队是以王宏起教授为带头人发展起来的黑龙江省高校哲学社会科学首批创新团队,现有教授5人、副教授5人、讲师3人。团队积极与黑龙江省科技厅等政府部门合作,为黑龙江省科技创新管理提供了一系列科技管理咨询服务,现已成为黑龙江省双一流学科、特色优势学科、黑龙江省“优秀”重点学科“管理科学与工程”学科及其博士点和博士后站的牵头方向。