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一种利用原子层沉积技术制作微通道板功能层的方法

发布时间: 2023-11-02

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,软件
成果介绍
本发明提供一种利用原子层沉积技术制作微通道板功能层的方法，以克服微通道板利用传统氢还原技术制备功能层的固有缺陷，解决微通道板功能层制造复杂，性能不稳定，寿命不长等难题，制造出附着力强、表面光滑、厚度均匀、组成成分纯度高的电阻层和发射层，提高微通道板的性能稳定性，延长其工作寿命。
成果亮点
本发明原子层沉积技术制作微通道板电阻层和发射层，可以实现厚度达***的精度，所以制备几十纳米厚的电阻层和发射层，完全能够满足表面精度要求，还具有结构致密，附着力强等优点。还可以通过控制参杂比例和厚度，精确的调整电阻值。
团队介绍
宁波市智能制造产业研究院是受浙江省省委省政府委托，由宁波市政府与智能制造领域专家团队共同筹建的具有集团性质的机器人及智能制造企业集群。宁研院总投资3亿元，致力于搭建技术研究与成果产业化的桥梁，以打造“浙江制造”为核心目标，积极创造机器人名牌产品，业务覆盖智能制造核心部件、机器人本体、产业应用等多个领域，通过3-5年时间成为宁波市智能经济发展的核心支撑平台。
成果资料