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单元素多层红外高反膜及其制备方法

发布时间: 2023-10-31

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本项目提供的一种单元素多层红外高反膜及其制备方法，该膜结构由基底和石墨靶材镀制的多层DLC膜构成，膜系的基本结构为：S/(HL)xH/A，其中S为Si基底，H为高折射率的DLC膜，L为低折射率的DLC膜，x为H和L重复镀制的周期数，A为空气。本项目单元素多层红外高反膜有效提高了机械性能、化学稳定性能高、适用范围广；同时，本发明的制备方法简单，易实现，满足大规模工业化生产的要求。
成果亮点
本项目有效提高了多层介质薄膜机械性能：该薄膜每层均是由DLC构成的，因而具有极高的硬度，脉冲真空电弧沉积技术制备的DLC硬度可以达到80GPa以上，非平衡磁控溅射的硬度可以达到40GP以上，其组成的多层膜硬度可达40-80GPa，且每层都是碳材料，膜层间结合性能良好，因此机械强度高。
团队介绍
“高新技术发展与战略管理”团队是以王宏起教授为带头人发展起来的黑龙江省高校哲学社会科学首批创新团队,现有教授5人、副教授5人、讲师3人。团队积极与黑龙江省科技厅等政府部门合作,为黑龙江省科技创新管理提供了一系列科技管理咨询服务,现已成为黑龙江省双一流学科、特色优势学科、黑龙江省“优秀”重点学科“管理科学与工程”学科及其博士点和博士后站的牵头方向。
成果资料