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一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置及检测方法

发布时间: 2023-10-31

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,微电子技术
成果介绍
本项目提供的一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置及检测方法，由光源调制组件、缺陷深度检测组件、二维移动平台以及计算机控制平台组成，所述光源调制组件的光路垂直于二维移动平台布置，从上至下依次包括紫外激光器、窄带滤光片，光束整形组件；缺陷检测组件的光路与光源调制组件的光路成夹角布置，依次包括窄带滤光片，显微镜头和CCD探测器；计算机控制平台分别与CCD探测器和二维移动平台相连。
成果亮点
本项目利用量子点激发波长与发射波长之间的波长差异性，通过非接触式的光学检测方式探测标记量子点位置，实现非破坏性检测。
团队介绍
宁波市智能制造产业研究院是受浙江省省委省政府委托，由宁波市政府与智能制造领域专家团队共同筹建的具有集团性质的机器人及智能制造企业集群。宁研院总投资3亿元，致力于搭建技术研究与成果产业化的桥梁，以打造“浙江制造”为核心目标，积极创造机器人名牌产品，业务覆盖智能制造核心部件、机器人本体、产业应用等多个领域，通过3-5年时间成为宁波市智能经济发展的核心支撑平台。
成果资料