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一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置

发布时间: 2023-10-31

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术许可
成果类型: 发明专利
行业领域:
电子信息技术,微电子技术
成果介绍
本项目提供的一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置,其采用的技术方案如下:包括用于安装薄膜测试样品的二维工作台,二维工作台两侧分别设置有入射光路和反射光路,入射光路一侧依次设置有光源、滤光片、平行光管和起偏器,反射光路一侧依次设置有波片、检偏器和光电接收器,高能激光器的激光发射端正对薄膜测试样品表面,在高能激光器的激光脉冲输出方向依次设置有衰减器和会聚透镜,其中二维工作台、波片、检偏器、高能激光器、接收器和衰减器均连接至工业控制计算机。
成果亮点
本项目的薄膜激光损伤判别方法及装置判别精度高,几乎不存在“误判”现象,膜厚变化1nm或者折射率变化***时,测试系统就会有响应;可实现在线判别,对激光损伤的判别可以在几秒内完成;判别薄膜的种类范围宽,无论是反射膜、增透膜、薄膜、厚膜均可实现高精度的判别;将该方法应用于激光损伤阈值(LIDT)测试过程中,有助于实现测试系统的集成化、自动化、智能化。
团队介绍
“高新技术发展与战略管理”团队是以王宏起教授为带头人发展起来的黑龙江省高校哲学社会科学首批创新团队,现有教授5人、副教授5人、讲师3人。团队积极与黑龙江省科技厅等政府部门合作,为黑龙江省科技创新管理提供了一系列科技管理咨询服务,现已成为黑龙江省双一流学科、特色优势学科、黑龙江省“优秀”重点学科“管理科学与工程”学科及其博士点和博士后站的牵头方向。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位:- (-) 评价时间:2023-11-09

干宁

宁波大学

教授

综合评价

在大功率、高能量激光系统中,存在着数以万计的光学薄膜元件,这些薄膜元件的抗激光损伤性能与光学系统的正常有效运转密不可分。鉴于此,许多光学薄膜元件都有激光损伤阈值(laser-induced damage threshold,LIDT)的指标要求。遗憾的是,目前对LIDT的测试效率很低、重复性差,且测试的成本较高。存在这些问题的主要原因是缺乏快速有效的损伤识别方法。关于损伤的识别方法,国际标准化委员会推荐相衬显微法作为薄膜损伤的判别方法(ISO21254),这种方法采用放大倍率为100-150倍的Normaski显微镜对激光辐照后的表面进行观测,以判别薄膜是否发生损伤。该方法存在的主要问题是,满足放大倍率100-150的显微镜,其工作距一般都很短。安装在自动化的激光损伤阈值测试仪中,会对高能辐照激光束产生遮挡,从而无法实现测试。因此,需要反复将样品移动到辐照光路之外去测试,从而降低了测试效率,难以满足工业生产的需要。综上所述,该技术的完整的方案、自适应性和可靠性的优势、与市场需求的契合程度以及应用潜力的市场背景,显示出该技术的潜力和吸引力。然而,在资本化和市场推广过程中,需注意与合作伙伴建立关系、确保产品的稳定性和兼容性、有效的市场营销策略等方面的挑战。通过充分利用相关的数据和趋势分析,可以为该技术的进一步发展提供指导和支持。
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