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提高抗静电击穿能力的谐振器及滤波器和电子设备

发布时间: 2023-10-31

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
本发明涉及一种薄膜体声波谐振器，包括：基底，设置有构成声学镜的空腔；和由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；所述压电层在所述有效区域之外具有穿过压电层的释放孔。
成果亮点
所述基底还设置有与所述空腔相通的释放通道，所述释放孔在所述基底的厚度方向上位于对应释放通道上方而与对应释放通道相通；且所述释放孔沿释放通道到底电极的延伸距离不小于6μm。本发明也涉及一种具有该谐振器的滤波器以及具有该滤波器的电子设备。
团队介绍
中科院 作为国家在科学技术方面的最高学术机构和全国自然科学与高新技术的综合研究与发展中心，建院以来，中国科学院时刻牢记使命，与科学共进，与祖国同行，以国家富强、人民幸福为己任，人才辈出，硕果累累，为我国科技进步、经济社会发展和国家安全做出了不可替代的重要贡献。
成果资料