科创中国

新一代信息技术产业

铁电陶瓷与薄膜由于大的电光系数和在可见光及近红外波段区间低的光学损耗 ，在大规模光电集成电路中的电光幵关、调制器和光波导等器件中具有广泛的应用。光调制器作为光集成器件的核心部分, 用于实现电-光和光-电信号快速转换，是目前学术界和产业界竞相研发的研究领域。该项目基于光波导微纳加工工艺，结合CMOS兼容的制备技术，实现了大宽带、低损耗、高集成度的电光调制器。完善并发展其在微电子和通讯领域的实际应用能力，拓展到可编程的柔性光子电路网络的设计与制造，为未来高速、节能、高效的光信息通讯网络开辟新的途径。

本技术结合了真空薄膜沉积技术和可水溶的缓冲层设计，制备出大尺寸、高质量 的无铅铁电单晶。这种方法可以循环使用基片，不仅有效降低了制造成本，而且绿色环保。通过对铁电薄膜的缺陷、界面、中间相、铁电畴在内的多尺度结构进行研究，并建立结构与电光性能关系，研制出大带宽、低损耗、高调制效率、高集成度的铁电薄膜电光调制器。该技术既有制备低成本、高集成度、与CMOS工艺兼容的特点，实现了电光调制器的大调制带宽 (> 50 GHz）、低光损耗 (< 3 dB) 和高调制效率 (< 3 V·cm)。

福州大学物理与信息工程学院，位于福建省福州市，前身为物理无线电系，诞生于1958年，与福州大学一起成长。2018年10月26日，被教育部遴选为首批“三全育人”综合改革试点院（系）之一。 朱敏敏博士、教授、博士生导师，福建省"闽江学者"特聘教授。本科毕业于安徽大学物理系，清华大学硕士，新加坡南洋理工大学博士。2021年加入福州大学物理与信息工程学院，先后在新加坡国立大学、南洋理工大学电子电气工程系和淡马锡国家实验室从事科研工作，主持/参与了福建省重点&重大专项3项，新加坡教育部、国防部和校企合作等一系列重大项目。研究方向为半导体微纳电光器件与集成电路，围绕信息科学领域的微纳器件设计与研发（第三&四代半导体GaN/SiC/Ga2O3、激光器与调制器、铁电存储器）等方面开展科研工作，目前在国际知名期刊上已发表SCI论文55篇，授权一项国际专利。