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碳化硅超精密气浮平台制造流程 烘干一0烧结 提纯一0造粒 用氢氟酸提纯 使得碳化硅原料达到999的纯度 进行造粒 压制成型 用硅胶和不锈钢铸成的模具将50微米的造粒粉压制成型 在200摄氏度的风箱中烘干后，在2200摄氏度的碳化硅无压烧结炉中高温烧结成型 加工 先用CNC加工中心调整精度再用手工方式进行精加工 组装 将加工完成的零部件配合光 栅尺与电机进行组装

在2200摄氏度的碳化硅无压烧结炉中高温烧结成型 加工 先用CNC加工中心调整精度再用手工方式进行精加工 组装 将加工完成的零部件配合光 栅尺与电机进行组装

成员 职位 简介 负责部分 曹博士 精密运动学家 尹博士 材料学家 陈然平 前ASML机械设计师 专业领域: 应用化学、有机化学、纳米材料 曾为罗尔斯罗伊斯、空中客车、波音、通用公司等设计柔性流水线和加工零件所需夹具。 专业领域: 材料工学、陶瓷材料、复合材料 曾任职于中国科学院上海有机化学研究所 研究员，总工程师，国家特聘专家，中组部千人计划，享受国务院特殊津贴 参与过德国WVILO水泵控制器部分设计，荷兰ASML WSPA电源部分散热设计及气密检测、气动治具设计等。 擅长高硬纳米材料的湿法制备氧化钦、氧化铁等多种无机材料等纳米分散 蔡达彦 前ASML测试开发工程师 为Asml dcdc 方向模块设计自动化测试程序 车辆电子模块tcu ptu 功能测试 privan农业用系统模块测试维护升级 SDS ECU 取力控制器功能测试 NG2250 AET-FT 设计ASML PADC GDS1 phase out 零部件结构设计与生产组烂 用氢氟酸对原材料进行提纯，机床及多种自动化检测设 电机驱动控模块以及控制器保证原材料达到***%的纯度。备设计 (机械部分)精度优化开发，电机选型

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