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新材料技术,高分子材料

通过恰当设计和管理研磨液供给与输送系统来保证CMP工艺的一致性。研磨液的混合、过滤、滴定以及系统的清洗等程序会减轻很多与研磨液相关的问题。那么就要设计一个合适的研磨液的供给与输送系统，完成研磨液的管理，控制研磨液的混合、过滤、浓度、滴定及系统的清洗，减少研磨液在供给、输送过程中可能出现的问题和缺陷，保证CMP的平坦化效果。研磨液组分通常是分开存储，使用时按比例混合使用。

通过恰当设计和管理研磨液供给与输送系统来保证CMP工艺的一致性。研磨液的混合、过滤、滴定以及系统的清洗等程序会减轻很多与研磨液相关的问题。那么就要设计一个合适的研磨液的供给与输送系统，完成研磨液的管理，控制研磨液的混合、过滤、浓度、滴定及系统的清洗，减少研磨液在供给、输送过程中可能出现的问题和缺陷，保证CMP的平坦化效果。研磨液组分通常是分开存储，使用时按比例混合使用。

吴宏伟 博士：辽宁省第十届侨联代表大会代表、辽宁省第四届侨商会理事、日中经济技术促进会常务理事、中国留日同学会理事、国际跨文化发展研究院理事兼、学术委员会委员 吴宏伟，1 9 8 7年生，日本广岛大学工学博士，硕士生导师，大连大学海外高层次人才，国际跨文化发展研究院理事兼学术委员会委员。主要研究半导体芯片、人工智能、集成电路方向。发表2 0余篇国际期刊论文，其中S p r i n g e r杂志1篇，主持参与多项省部级以上课题研究。 在世界5 0 0强日本马自达企业做过项目课题研发、日本精密仪器检测公司重大项目开发等，成果转化2 . 5亿日元。 荣获中国驻日本大阪总领事馆教育室颁发的“促进中日友好交流”表彰证书、辽宁省阜蒙县优秀政协委员荣誉称号、辽宁省大连市金普新区湾里街道颁发的“抗击疫情优秀志愿者”荣誉称号等。 2 0 2 1年被辽宁省大连市评为“青年才俊”、“城市紧缺人才”荣誉称号。 2 0 2 2年入选团中央青年创新创业“攀登计划”、教育部“春晖杯”留学人员创业计划、江苏省“太湖杯创业领军人才”等。

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