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TXK-AVM转化条件 自主识产权 受理专利36项，授权专利13项，软件著作权6部，部分成果成功应用于企业，部分成果正在转化过程中 口 半导体测试生产线设备故障预测分析 口 数据驱动的闭环优化动态调度仿真系统V10可以模拟实际制造系统进行仿真平台构建，实现基于数据区动的闭环优化动态调度过程 口 基于数据的半导体制制造调魔系统通过界面层(接口层)。功能层和数据库层之间的互相调用来实现功能。 口 面向多企业协同的复杂制造系统仿真平台基于Anylogic原型环境、动志组建企业联盟、开展覆禁产品全生命周期的制制造工艺合作、实现企业间的资源共享和协同优化。

场分析 TXK-AVM软件与同行业/技术领域相比，属国内首创，达到国际先进。[周内领先,基关键功能性标顶计如下: (1)物理检测须率下降:可将物理量测频度隆低50%以上，降低产晶加工周期，减少半导体IC产品在环境中长目时间暴露导致的的增加加颗拉污染的风险; (2)产线产能提升:减少设备因为等待监控片结果而产生的无谓待机时间，提升单机设备产佛;减少物理量测设备，书约净化车间空间，提升净化车间利用率和产能; (3)减少量测设备依赖与周定资产投资:通过VM替代部分物理量测，可减少物理量测设备依赖并降低固定资产投资 (4) 优化设备日常维护/零部件亚换效率，降低损耗:将关健设备定时/定量维护转变为综合考虑设备状态、产品品质和生产加工需求的按性能维护，提升关键设备的利用效率，减少设备停机时间和消耗品损耗 (S) 产品全生命周期质量追湖:精准抓取设备参数漂称/产品品质异常，防止大批量异常产品产生; 对于随机产生的异常品，基于高维数圳联合分析进行快速有效的事后追溯

团队带头人 李莉教授 团队骨干 研究方向:复杂制造系统建模、优化与控制等同济大学控制科学与工程系系主任上海智能科学与技水研究院执行院长IFAC *** @员中国自动化学会集成自动化专业委员会秘书长中国人工智能学会自然计算与数之智能城市专业委员会委员 2020年中国自动化学会自动化与人工智能创新团队奖(学术带头人) 2015中国自动化学会技术发明一等奖2013上海市技术发明一等奖主持国家科技重点研发计划课题1项主持国家自然基金项目3项国际一流顶刊、AI页会论文20余篇

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