您所在的位置: 成果库 MEMS耐高温压力传感器及技术

MEMS耐高温压力传感器及技术

发布时间: 2023-10-26

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术咨询
成果类型: 发明专利
行业领域:
高端装备制造产业
成果介绍
该项目应用先进的MEMS技术,研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。
成果亮点
研制的压力传感器主要技术指标:工作温度:-40-200℃;压力量程:0~1000MPa任意量程;固有频率:≤1MHz:综合精度:***%FS。高G值加速度计指标:1×1015g(g为重力加速度)。 该成果获得2006年度国家技术发明二等奖、2005年度教育部技术发明一等奖、2004年度陕西省科技进步一等奖和2004年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利20余项。
团队介绍
机械工程学院有机械工程、仪器科学与技术2个一级学科博士学位授权点(6个博士点和7个硕士点),覆盖了机械制造及其自动化、机械电子工程、机械设计及理论、车辆工程、精密仪器及机械、测试计量技术及仪器、设计学等7个专业,并设有机械工程、仪器科学与技术2个博士后科研流动站。学院机械工程一级学科为国家重点一级学科。 依托机械工程学院建设的有1个国家重点实验室、1个国家工程研究中心、1个2011协同创新中心、1个国家地方联合工程研究中心、1个中国西部质量科学与技术研究院、1个国际联合实验室、2个引智基地、17个省部级科研基地, 2个国家级实验教学示范中心,4个专业系,10个科研研究所。通过“211工程” 、“985工程”、一流学科建设和“双一流”建设,机械工程学院在人才培养、学科建设、科学研究等方面均得到了较大的发展,取得了可喜的成绩。近十年来,获得国家级二等奖以上奖励10余项,省部级二等奖以上奖励30余项,承担了国家973、863、科技支撑、重点研发、国家自然科学基金的重点及重大、国防预研等重大项目300多项。
成果资料