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一种超硬非晶碳薄膜的制备装置和工艺

发布时间: 2023-10-24

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术咨询
成果类型: 新技术
行业领域:
电子信息技术
成果介绍
项目为一种超硬的非晶四面体碳(ta-c)薄膜的制备装置和工艺,该薄膜具有极好的物理化学特性,在碳基薄膜中,是目前国际上公认的SP3键含量最高,超过85%,特性最接近天然金刚石的薄膜,硬度达到HV≥85Gpa,可见光和红外光透明,透光率达97%,吸收紫外光,达98%,薄膜均匀性好,薄膜平整度达***, 摩擦系数≤***,电阻率达(1012Ω·cm),击穿电压***×106,热导率18,密度***(g/cm3),薄膜致密耐腐蚀作用极好。该项目可用于高精度专有刀具、模具和摩擦滑动部件,提高使用寿命,减小摩擦,如手术和美容刀具、丝锥、PCB钻、拉丝模、冲压模具、压缩机滑块,滑动环等;用于视窗、镜片和传感器表面,可防止划伤,增强散热,利于红外光传递,等;用于激光透镜,可提高损伤阈值;用于射线辐射测量传感器,可抗射线辐射损伤,提高测量的灵敏度。
成果亮点
本项目包括薄膜制备的专有装置和制备工艺,制备技术和薄膜特性达到国际上同类水平,目前已成功地应用于手术和美容刀锯(不锈钢)、丝锥和铣刀、冲压和拉丝模具涂层等,由于该薄膜硬度高,在200nm厚度时(处理时间10分钟),刀具的使用寿命提高4倍左右,相当于其他刀具薄膜厚度为3微米(处理时间 4-5小时)时的效果,不仅可以大大提高工作效率,节省大量的人力、水电和材料,而且由于摩擦系数小,切削时不粘接,润滑好,特别适合于有色金属切削。该项目属于无污染加工,成本低效果优异,经济效果显著,每炉的成本几十元,产生的效益在几万元。
团队介绍
西安交通大学电子与信息学部在 “双一流”建设中阔步向前,负责建设电子科学与技术一流学科和信息科学与技术一流学科群,在多功能铁电材料与器件、宽禁带半导体材料与器件、超快光子学与光电子器件、高能效集成电路与系统、新一代人工智能基础理论体系及典型示范应用,一体化的大数据、云计算与宽带网络技术、信息物理融合系统、面向生物医学与精准医疗的大数据科学、网络空间系统安全等优势学科方向上,取得了人才培养、科学研究和师资队伍建设的卓越成就。 电子与信息学部前身是1908年交通大学时任校长唐文治先生创建的电机专科,1912年电机专科改为电气机械专科,1928年电气机械专科被扩充为电机工程学院,1937年电机工程学院改为电机工程系,1957年交通大学西迁后成立无线电工程系,20世纪70年代末80年代初,随着学科的发展分成电子工程系、信息与控制工程系和计算机科学与技术系,1994年三系重新合并成立西安交通大学电子与信息工程学院。2018年底,西安交通大学电子与信息学部成立。
成果资料