行业领域:
电子信息技术,新一代信息技术产业,软件,新兴软件和新型信息技术服务,互联网与云计算、大数据服务
成果介绍
平板显示的用途非常广泛,涉及到我们生活的方方面面。近几年终端产品市场一直在持续增长,同时我国平板显示的产能逐年攀升,2020年达到***亿平米左右,占全球市场的52%,已经远超传统的日韩企业。伴随着全球面板产能向中国集中,相应质量检测设备投资也持续增长,2020年达到约270亿元人民币。 平板显示中占据主流市场的是TFT-LCD面板,常称为薄膜晶体管-液晶显示面板,它的制造工序复杂,主要包括阵列、成盒和模组三道工序,通常称为前、中和后段工序。而质量检测贯穿面板的整个制造过程,是保证生产良率的关键环节。其中,中前段制程所需检测设备的技术壁垒较高,相应市场规模也更大。
成果亮点
第一项核心技术是:微弱缺陷光学成像及特征增强技术,解决了“拍的清”的问题。我们通过对LCD面板微弱缺陷的大量建模分析,从而明确了缺陷的显微形貌、光学性质,重新梳理了微弱缺陷的特性分类。并利用微纳加工方法首次制备了完备的缺陷标准样本集,为微弱缺陷建立量化分析标准,避免出现了人眼判别标准的飘忽不定。在此基础上,我们一方面设计匹配微观特性的光线方案,另一方面对环境杂散光进行了非常严格的控制,便能提高微弱缺陷的形态学差影,大大减小微弱缺陷的检出难度!此外,光有高精度测量还不足,必须同时具备高检测速度。对此我们还开发了矩阵式分区检测方案,从而使检测效率比传统方式至少提高了3倍以上!
第二项核心技术是:复杂背景下的微弱缺陷图像提取算法,主要解决了“认得准”的问题。TFT面板的图像背景非常复杂,比如C面和T面光散射性质不同,背景有很明显的像素晶格特征,而且反射光线照度变化非常剧烈,这都对微弱缺陷的识别造成了很大的干扰。因此复杂背景下的图像特征提取就显得非常重要,我们陆续开发了多项图像处理识别技术,这样就能让识别算法具有很强的抗干扰性、鲁棒性。
团队介绍
林科达旭科新能源股份有限公司CEO
成果资料