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本发明公开了一种空间磁场矢量传感器及其制作工艺方法，所述传感器包括第一磁敏感结构和第二磁敏感结构，第二磁敏感结构设置在第一磁敏感结构中，二者的磁敏感方向正交且磁敏感中心重合。其中，所述第一磁敏感结构由磁敏三极管及负载电阻构成的两对差分结构组成，形成x轴、y轴磁敏感单元，可实现xy平面内磁场分量测量；所述第二磁敏感结构由磁敏三极管及负载电阻构成的一对差分结构组成，形成z轴磁敏感单元，可实现z方向磁场分量测量。本发明公开的传感器制作工艺方法，包括制备第一磁敏感结构和第二磁敏感结构，并将第二磁敏感结构嵌入第一磁敏感结构中。该方法可实现空间磁场矢量传感器芯片制作，具有各磁敏感方向磁敏特性一致性好等特点。

一种空间磁场矢量传感器，其特征在于，所述传感器包括第一磁敏感结构和第二磁敏感结构，所述第二磁敏感结构嵌入到第一磁敏感结构中。

黑龙江大学有博士后科研流动站7个，博士后科研工作站3个。有博士学位授权一级学科10个，硕士学位授权一级学科35个，硕士专业学位类别18个。有国家重点学科1个，国家重点（培育）学科1个；有国家级一流本科专业建设点33个、国家级特色专业10个、国家级一流本科课程（含精品在线开放课程）15门、省级重点学科群1个、省级重点一级学科12个，省级“双一流”国际一流建设学科1个，省级“双一流”国内一流建设学科5个。