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一种光衍射器件及其制备方法和三维显示装置
发布时间: 2023-10-17
来源: 试点城市（园区）
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业
成果介绍
本发明公开了一种基于随机激光散斑的纳米级结构光衍射器件。该结构光衍射器件的衍射结构单元只有几百纳米,甚至几十纳米,具有分辨率高,对比度高和视场角大等优势。在此基础上,本发明还提出了一种纳米级衍射器件的制作方法,即位相光场干涉光刻法。利用该方法可以制备出高品质的深度感知结构光衍射器件。相比于传统的光学元件加工技术,本发明提出的位相光场干涉光刻法具有分辨率高和位相匹配精度高等优势,与紫外投影曝光和电子束直写等光刻技术相比,本发明提出的光刻技术具有速度快、成本低等优势。
成果亮点
为了获取更高品质的结构光图像，本发明提出了一种基于随机激光散斑的纳米级光衍射器件。该光衍射器件具有分辨率高，对比度高和视场角大等优势。本发明提出的光刻技术具有速度快、成本低等优势。
为达到上述目的，本发明的技术方案如下：
一种光衍射器件的制作方法，包括以下步骤：
s1，利用傅里叶变换算法计算出随机散斑的二阶频谱位图；
s2，将二阶频谱位图形貌特征加工到透明基底表面，形成位相深度为浮雕结构的位相型衍射光学元件。
本发明提出一种纳米级衍射器件的制作方法，即位相光场干涉光刻法。利用该方法可以制备出高品质的深度感知光衍射器件。相比于传统的光学元件加工技术，本发明提出的位相光场干涉光刻法具有分辨率高和位相匹配精度高等优势，与紫外投影曝光和电子束直写等光刻技术相比，本发明提出的光刻技术具有速度快、成本低等优势。
团队介绍
发明人：
邵仁锦 浦东林 朱鹏飞 张瑾 朱鸣 陈林森苏州大学坐落于素有“人间天堂”之称的历史文化名城苏州，是国家“211工程”“2011计划”首批入列高校，是教育部与江苏省人民政府共建“双一流”建设高校、国家航天局共建高校，是江苏省属重点综合性大学。苏州大学前身是Soochow University（东吴大学，1900年创办），开现代高等教育之先河，融中西文化之菁华，是中国最早以现代大学学科体系举办的大学。在中国高等教育史上，东吴大学是最早开展研究生教育并授予硕士学位、最先开展法学（英美法）专业教育，也是第一家创办学报的大学。1952年中国大陆院系调整，由东吴大学之文理学院、苏南文化教育学院、江南大学之数理系合并组建苏南师范学院，同年更名为江苏师范学院。1982年，学校更复名苏州大学（Soochow University）。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2023-10-20
刘全
苏州大学
教授
综合评价
本发明还提供一种微米级位相型衍射光学元件，即二阶的表面浮雕型衍射光学元件，包括透明基底和设置透明基底表面的随机散斑频谱位图的黑白分布，所述随机散斑频谱位图的黑白分布为微米级二阶的表面浮雕。
本发明还提供一种光衍射器件，包括透明基底和设置透明基底表面的随机散斑频谱位图的黑白分布，所述随机散斑频谱位图的黑白分布为纳米级二阶的表面浮雕。
本发明还提供一种三维显示装置，包括上述方法制备的光衍射器件，或上述光衍射器件。
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