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一种用于高功率激光加工的精密轴向调焦装置，其特征在于，包括： 高功率激光源(1)，用于产生高功率线偏振激光束； 汇聚透镜组(23)，用于将高功率线偏振激光束聚焦，形成汇聚光束； 轴向调焦组件(2)，在轴向上选取汇聚光束焦点以外的任一点作为调焦中心点，设定以调焦中心点为中心的轴向调焦范围，轴向调焦组件(2)放置在该轴向调焦范围内且可轴向移动，用于反射汇聚光束，并通过轴向移动调整反射光束的发散角，实现轴向调焦； 光束准直度补偿组件(3)，用于对反射光束的发散角进行放大或缩小以补偿光束准直度，补偿参考基准是调焦中心点的反射光束经过发散角放大或缩小后以准直光出射； 二维扫描组件(4)，用于调整准直度补偿后光束在横向上两个维度的偏转方向，实现横向二维扫描； 聚焦物镜(5)，用于对横向二维扫描光束聚焦。

本发明公开了一种用于高功率激光加工的精密轴向调焦装置及方法，属于高功率三维超快精密加工领域。设备包括：高功率激光源，产生高功率线偏振激光束；汇聚透镜组，将高功率线偏振激光束聚焦，形成汇聚光束；轴向调焦组件，在轴向上选取汇聚光束焦点以外的任一点作为调焦中心点，设定以调焦中心点为中心的轴向调焦范围，轴向调焦组件放置在该轴向调焦范围反射汇聚光束，并通过轴向移动调整反射光束的发散角，实现轴向调焦；光束准直度补偿组件，对反射光束的发散角进行放大或缩小；二维扫描组件，使准直度补偿后光束横向二维扫描；聚焦物镜，对扫描光束聚焦。本发明能够在实现大功率激光快速加工的同时提升聚焦光斑的质量。

华中科技大学（Huazhong University of Science and Technology），简称华中大、华科大 ，位于湖北省武汉市，是中华人民共和国教育部直属的综合性研究型全国重点大学、位列国家“双一流”“985工程”“211工程”、入选“强基计划”“111计划”、卓越工程师教育培养计划、卓越医生教育培养计划、国家大学生创新性实验计划、国家级大学生创新创业训练计划、国家建设高水平大学公派研究生项目、国家级新工科研究与实践项目、基础学科拔尖学生培养计划***，是学位授权自主审核单位、全国深化创新创业教育改革示范高校、一流网络安全学院建设示范项目高校、中国政府奖学金来华留学生接收院校、教育部来华留学示范基地，为中欧工程教育平台成员和医学“双一流”建设联盟 、国际应用科技开发协作网 、全球能源互联网大学联盟成员。

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