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本申请公开了一种高通量成分梯度反铁电基薄膜材料及其制备方法，所述高通量成分梯度反铁电基薄膜材料的制备方法包括以下步骤：获取衬底；在所述衬底上沉积形成底电极层；通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同比例的锆酸铅和掺杂组分，得到高通量成分梯度反铁电基薄膜材料，其中，所述掺杂组分包含钡元素。本申请解决了现有技术测试不同钡离子掺杂比例与反铁电基薄膜材料性能之间的关系的准确性较低的技术问题。

1.一种高通量成分梯度反铁电基薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述高通量成分梯度反铁电基薄膜材料的制备方法包括以下步骤： 获取衬底； 在所述衬底上沉积形成底电极层； 通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同比例的锆酸铅和掺杂组分，得到高通量成分梯度反铁电基薄膜材料，其中，所述掺杂组分包含钡元素。 2.如权利要求1所述的高通量成分梯度反铁电基薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同比例的锆酸铅和掺杂组分，得到高通量成分梯度反铁电基薄膜材料的步骤包括： 通过向预设第一方向移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同厚度的锆酸铅； 通过向预设第二方向移动掩膜版，在所述锆酸铅上沉积不同厚度的掺杂组分，其中，所述第二方向为所述第一方向的反方向； 将预设第一循环次数增加一次，得到新的预设第一循环次数； 若所述新的预设第一循环次数大于或等于预设第一循环次数阈值，则获得高通量成分梯度反铁电基薄膜材料。

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