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本申请公开了一种组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜及其制备方法，所述组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法包括以下步骤：获取衬底；在所述衬底上沉积形成底电极层；通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同含量的锆酸铅和钛酸铅，得到组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜。本申请解决了现有技术测试锆钛酸铅薄膜组分与性能之间的关系的准确性较低的技术问题。

1.一种组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法包括以下步骤： 获取衬底； 在所述衬底上沉积形成底电极层； 通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同含量的锆酸铅和钛酸铅，得到组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜。 2.如权利要求1所述的组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述锆钛酸铅薄膜的分子式为Pb(ZrxTi1-x)O3，其中，0≤X≤1，所述X沿预设组分梯度变化方向呈梯度递增或梯度递减。 3.如权利要求1所述的组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述锆钛酸铅薄膜的厚度为20～150nm，所述底电极层的厚度为5～20nm，所述衬底为长1～***，宽1～***的矩形。 4.如权利要求1所述的组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，所述底电极层包括钌酸锶薄膜，所述衬底包括钛酸锶衬底。

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