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本发明公开了一种同步定位光刻曝光装置及方法,该装置包括二维运动平台、位于所述二维运动平台正上方用于承载待刻蚀对象的压电陶瓷运动模块、以及位于所述压电陶瓷运动模块上方的光源发生装置,所述二维运动平台包括控制二维运动平台沿第一方向运动的第一传动装置,所述压电陶瓷运动模块包括控制压电陶瓷运动模块沿与第一方向相反的第二方向运动的第二传动装置。本发明通过控制压电陶瓷运动模块运动时间与曝光时间的匹配关系,从而达到精确的同步定位曝光,消除运动曝光误差

本发明提供了一种同步定位光刻曝光装置及方法，其可达到精确的同步定位曝光，并消除运动曝光误差。 为了实现上述目的，本发明实施例提供的技术方案如下： 一种同步定位光刻曝光装置，所述装置包括二维运动平台、位于所述二维运动平台正上方用于承载待刻蚀对象的压电陶瓷运动模块、以及位于所述压电陶瓷运动模块上方的光源发生装置，所述二维运动平台包括控制二维运动平台沿第一方向运动的第一传动装置，所述压电陶瓷运动模块包括控制压电陶瓷运动模块沿与第一方向相反的第二方向运动的第二传动装置。

山东省永兴仪器仪表有限公司是一家从事乙醚零售,醋酸酐零售,三氯甲烷零售等业务的公司，成立于1997年02月28日，公司坐落在山东省，详细地址为：山东省菏泽市鄄城县鄄二路南段路东（电视台东邻），企业的经营范围为:乙醚、醋酸酐、三氯甲烷、哌啶、盐酸、硫酸、丙酮、甲基乙基酮（禁止储存）零售；（有效期限以许可证为准）。电热套、 加热板、 加热带、 搅拌器、 油品分析仪器、 实验室仪器及辅助设备、 仪器仪表生产、销售;取样器、表面电阻率测定仪研发、生产、 销售；石油仪器、泥浆仪器研发、生产、销售；机箱制作、石油设备配件及机械加工；安全检测仪器、环保仪器及设备、玻璃仪器、化验耗材、化学试剂、流量仪器、温度仪表、压力仪表、水暖器材及配件、五金交电、一类、二类、三类医疗器械销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）