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一种步进式光学加工系统和光学加工方法,该系统包括加工平台、光学头、中央控制系统和位置补偿系统,其中位置补偿系统包括空间光调制器、位置检测系统和图形控制器,所述空间光调制器具有位置补偿区,该空间光调制器上显示的加工图形可以在该位置补偿区中偏移,通过加工图形的偏移来补偿由机械运动产生的位置误差,提高了加工的精度和效率。本发明还提供了一种使用上述光学加工系统的光学加工方法。

本发明提出了一种步进式光学加工系统和加工方法。该系统 通过移动空间光调制器上的图形位置，以电子补偿的方式取代机械补偿，从 而杜绝了在位置补偿过程中产生的机械误差。 根据本发明的一个目的提供的一种步进式光学加工系统，包括加工平台、 光学头、中央控制系统和位置补偿系统，其中所述位置补偿系统包括：位置 检测系统，用于检测光学头与加工平台的相对位置；空间光调制器，用于产 生一加工图形，该加工图形经光学头缩放后，在一位于加工平台上的待加工 物表面的预定曝光区曝光，该空间光调制器具有位置补偿区，位于上述加工 图形的四周，且该加工图形能动的产生于该位置补偿区中；以及图形控制器， 控制该加工图形在该空间光调制器的该位置补偿区中的产生位置，其中当该 位置检测系统检测到光学头和加工平台之间的相对位置产生一位置误差时， 该图形控制器控制该空间光调制器，使该加工图形在该位置补偿区中产生一 位置偏移，该位置偏移满足该加工图形经光学头缩放后，达到预定曝光区。

发明人： 胡进 浦东林 魏国军 朱鹏飞 陈林森 苏州大学坐落于素有“人间天堂”之称的历史文化名城苏州，是国家“211工程”“2011计划”首批入列高校，是教育部与江苏省人民政府共建“双一流”建设高校、国家国防科技工业局和江苏省人民政府共建高校，是江苏省属重点综合性大学。苏州大学前身是Soochow University（东吴大学，1900年创办），开现代高等教育之先河，融中西文化之菁华，是中国最早以现代大学学科体系举办的大学。在中国高等教育史上，东吴大学是最早开展研究生教育并授予硕士学位、最先开展法学（英美法）专业教育，也是第一家创办学报的大学。1952年中国大陆院系调整，由东吴大学之文理学院、苏南文化教育学院、江南大学之数理系合并组建苏南师范学院，同年更名为江苏师范学院。1982年，学校更复名苏州大学（Soochow University）。

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