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一种原位光学显微成像高温生长系统

发布时间: 2023-10-09

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 发明专利
行业领域:
电子信息技术
成果介绍
该成果在化学气相沉积系统内集成独有的耐高温显微成像系统,能够实现材料生长过程的原位高分辨光学成像,从而获得材料生长速率、微观形貌等参数的实时信息,为剖析材料生长机理机制、改进材料生长工艺提供精确数据。该成果在新材料研发、材料生产过程监测控制领域具有广泛应用前景。
成果亮点
一种原位光学显微成像高温生长系统;专利号申请号:***
团队介绍
国家纳米中心现有3个中国科学院重点实验室,分别是中国科学院纳米生物效应与安全性重点实验室、中国科学院纳米标准与检测重点实验室和中国科学院纳米系统与多级次制造重点实验室,涵盖了纳米器件、纳米材料、纳米生物效应与安全性、纳米表征、纳米标准、纳米制造与应用基础等6个研究室。纳米中心于2018年后成立了理论室、纳米加工实验室及智能传感室,此外还建有一个雾霾健康效应与防护北京市重点实验室和两个北京市工程中心(北京市纳米生物医学检测工程技术研究中心、北京市纳米材料工程技术研究中心等),北京市科普基地、北京市纳米材料研发国际合作基地、国家纳米材料研发国际科技合作示范基地。纳米中心设有纳米技术发展部,建有纳米检测、纳米加工和纳米生物技术3个技术支撑平台,1个发展研究中心,是全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)、中国合格评定国家认可委员会(CNAS)实验室技术委员会纳米专业委员会、中国微米纳米技术学会纳米科学技术分会的挂靠单位,纳米科技产业技术创新战略联盟理事长单位。纳米中心与英国皇家化学会联合主办的英文期刊《Nanoscale》受到国内外学界的广泛关注。
成果资料
产业化落地方案
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成果综合评价报告

评价单位:“科创中国”纳米技术专业科技服务团 (上海市纳米科技与产业发展促进中心) 评价时间:2023-11-15

周伟民

上海市纳米科技与产业发展促进中心

研究员

综合评价

该成果在化学气相沉积系统内集成独有的耐高温显微成像系统,能够实现材料生长过程的原位高分辨光学成像,获得材料生长过程的成核速率、生长速率、材料形貌和结构等参数,为剖析材料生长机理机制、改进材料生长工艺提供精确数据,对材料高温生长研究具有极其重要的意义。 该成果在新材料研发、材料生产过程监测控制领域市场空间需求前景巨大,具有广泛应用前景。 但产品的转化周期较长,下一步需要在现实环境下验证、改进,形成真实成品,同时需要进一步探索项目创新性的提高。 总体而言,该项目未来市场空间大,技术就绪度很高,值得支持推广。
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