科创中国

电子信息技术,新型电子元器件

基于纳米材料的气敏传感器在环保、汽车工业、国防等许多领域有着潜在的用途。根据测量原理的不同，气敏传感器可大致分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等多种类型。 本装置主要针对半导体式气敏传感器的研发而设计，用来表征纳米半导体材料对不同种类和浓度气氛的电学响应规律，以评价待测材料气敏性质的优劣，主要检测内容包括样品在不同栅压下的气敏响应曲线、样品在不同气氛下的场效应管转移特性曲线和输出特性曲线等等。该装置允许对最多4个样品进行同时测量，电流测量的最高分辨率为10 pA，样品的测量温度可从室温变至600K。 目前，装置的原型机已经制作完成（图1），配套软件也已开发完毕（图2），只是在设备的整体集成方面尚需完善。

与软硬件设计相关的技术秘密

纳米中心现有3个中国科学院重点实验室，分别是中国科学院纳米生物效应与安全性重点实验室、中国科学院纳米标准与检测重点实验室和中国科学院纳米系统与多级次制造重点实验室，涵盖了纳米器件、纳米材料、纳米生物效应与安全性、纳米表征、纳米标准、纳米制造与应用基础等6个研究室。纳米中心于2018年后成立了理论室、纳米加工实验室及智能传感室，此外还建有一个雾霾健康效应与防护北京市重点实验室和两个北京市工程中心（北京市纳米生物医学检测工程技术研究中心、北京市纳米材料工程技术研究中心等）,北京市科普基地、北京市纳米材料研发国际合作基地、国家纳米材料研发国际科技合作示范基地。纳米中心设有纳米技术发展部，建有纳米检测、纳米加工和纳米生物技术3个技术支撑平台，1个发展研究中心，是全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）、中国合格评定国家认可委员会（CNAS）实验室技术委员会纳米专业委员会、中国微米纳米技术学会纳米科学技术分会的挂靠单位，纳米科技产业技术创新战略联盟理事长单位。纳米中心与英国皇家化学会联合主办的英文期刊《Nanoscale》受到国内外学界的广泛关注。

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