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电子级多晶硅用高纯硅芯制备技术的研究及应用

发布时间: 2023-10-08

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 合作开发
成果类型： 新技术
行业领域：
高新技术改造传统产业,先进制造技术
成果介绍
硅芯作为改良西门子法沉积高纯硅的载体，其自身质量是影响最终生产的多晶硅产品质量的一个重要因素。该项目通过对高纯低消耗原生致密硅棒制备技术、原生硅棒切割制备高纯硅芯技术及高纯硅芯连接技术的研究，解决了电子级多晶硅生产用硅芯质量不佳的行业关键难题，掌握了高品质硅芯低成本、规模化制备工艺，首次利用致密多晶硅棒直接切割工艺实现了硅芯的高品质、低成本规模化生产。
成果亮点
1.通过多晶硅生长动态仿真模拟研究，有效改善还原炉内的流场和温度场；采用原生多晶硅棒切割法制备硅芯，优化电子级硅芯制备技术，实现电子级硅芯的高品质、低成本规模化生产。 2.建成多晶硅棒切割法生产39600根高品质硅芯中试线1条；单根硅芯（1kg）生产成本较常规硅芯采购成本降低了***%。 3.项目获得授权发明专利7件，授权实用新型专利8件。 专家委员会认为项目完成了合同约定研究内容及指标，一致同意通过验收与成果评价，研究成果达到国内先进水平。
团队介绍
亚洲硅业（青海）股份有限公司与青海亚硅硅材料工程技术有限公司，青海亚洲硅业多晶硅有限公司，青海亚洲硅业半导体有限公司，青海亚洲硅业硅材料有限公司共同合作研发。亚洲硅业（青海）股份有限公司，成立于2006年12月31日，注册资本为***万人民币，是一家从事电子专用材料制造,电子专用材料销售,电子专用材料研发等业务的公司。
成果资料