科创中国

电子信息技术,新型电子元器件

主要围绕芯片失效分析平台中精密分析仪器的校准技术展开研究，重点研究聚焦离子束系统与X射线能谱仪的校准方法。针对工业芯片失效分析的计量校准技术，（1）形成了基于激光波长的纳米线宽计量技术，提出了基于聚类分析的纳米线宽自适应表征方法，实现了（40~160）nm线宽标准器的准确定值，相对测量标准不确定度优于5%；（2）起草了聚焦离子束校准规范，经国家市场监督管理总局以及归口单位全国几何量长度计量技术委员会批准立项，形成规范草案、完成意见征集；（3）形成了聚焦离子束加工系统分析评价方法，已经专家评审；（4）研制了用于X射线能谱仪分析校准的硅、锰单元素标准器，扩展不确定度优于***%。 课题形成的计量校准技术，不仅可以保障测量设备的准确性和溯源性，更能将计量检测技术深入到芯片产品的设计研发、制造生产与合格检验等各个环节，为企业提供“全寿命周期、全产业链、全溯源链、全系统”的计量校准服务，完善企业的计量检测手段，节约资源，促进产业升级，为未来经济增长做出更大贡献。

本课题系统性研究了聚焦离子束双束系统的计量校准方法，制定了国家计量技术规范，形成了离子束加工系统分析评价方法，以实现工业芯片失效分析的计量校准涉及的方法有扫描电子显微镜、透射电子显微镜、聚焦离子束双束系统、元素分析等。该项课题成果主要围绕工业芯片的失效分析，因此拟合作方需具备原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线能谱仪以及聚焦离子束系统等分析仪器，环境条件需满足精密分析仪器所要求的温度、湿度以及振动等。

河北工业大学（Hebei University of Technology），简称河北工大，坐落于天津市，由河北省人民政府、天津市人民政府与中华人民共和国教育部共建，隶属于河北省，是国家“双一流”建设高校、国家“211工程”重点建设高校，入选国家“中西部高校基础能力建设工程”、教育部“卓越工程师教育培养计划”、河北省“国家一流大学建设”一层次学校、天津市高水平特色大学建设项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、国家级新工科研究与实践项目、首批高等学校科技成果转化和技术转移基地，CDIO工程教育联盟成员单位。