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NbN/MoSN/MoS2硬质自润滑纳米结构复合膜及制备方法
发布时间: 2023-09-27
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
电力、热力、燃气及水生产和供应业
成果介绍
本发明公开了一种NbN/MoSN/MoS2硬质自润滑纳米结构复合膜及制备方法，薄膜材料以Nb为过渡层，采用射频磁控溅射技术，以高纯Nb靶和高纯MoS2靶共聚焦溅射制备，薄膜的厚度在***μm之间，由面心立方NbN、密排六方NbN以及非晶MoSN和MoS2构成，其中晶态的NbN被非晶相MoSN和MoS2包裹，呈现出“非晶包裹纳米晶”的微结构特征。本发明所述NbN/MoSN/MoS2纳米结构复合膜兼具高硬度和优异的室温摩擦磨损性能；该复合膜的制备方法具有工艺流程简单，生产效率高的优点；该复合膜可用于高性能、干式切削刀具薄膜材料和工模具表面性能改良的薄膜材料。
成果亮点
发明目的：本发明的目的是提供一种NbN/MoSN/MoS2硬质自润滑纳米结构复合膜及制备方法，解决现有的二元氮化铌薄膜材料无法满足高端切削刀具的服役性能要求的问题。
技术方案：本发明所述的NbN/MoSN/MoS2硬质自润滑纳米结构复合膜，包括Nb过渡层，所述Nb过渡层上设置有NbN/MoSN/MoS2复合膜层，所述NbN/MoSN/MoS2复合膜层包括面心立方NbN、密排六方NbN以及非晶MoSN和MoS2，其中晶态的NbN被非晶相MoSN和MoS2包裹。
其中，所述Nb过渡层的厚度为50-400nm。
所述NbN/MoSN/MoS2复合膜层中Nb、Mo、S、N元素的原子百分含量范围依次为***、***、***、***.％。
所述NbN/MoSN/MoS2纳米结构复合膜硬度为18-25GPa，室温平均摩擦系数为***，室温磨损率在***×***×10-7mm3·N-1mm-1。
团队介绍
此技术是江苏科技大学鞠洪博研发，培养高等学历人才，促进科学技术发展。机械制造、焊接、船舶与海洋工程结构力学、轮机工程学科研究生学历教育船舶专业学科、应用物理学、生物技术、统计学、高分子材料工程、焊接技术与工程、机械电子工程、测控技术与仪器、财务管理、物流管理、公共事业管理本科学历教育相关科学研究、科技服务
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2023-10-07
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