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跨尺度微纳表面结构是半导体集成电路、新型显示、军事隐身、安全防伪等先进制造领域的重要制造质量特征。跨尺度微纳表面结构高精度测量，是相关产品制造质量保证的基础。然而，跨尺度微纳表面结构精度高、尺度小、尺度跨度大，结构复杂，如何实现其高效高精度测量，是相关制造领域面临的重要瓶颈和挑战。 本项目依托华中科技大学仪器学科在表面形貌与结构精密测量领域的传统特色优势和长期积累的科研基础，在国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金仪器研制专项、国家863重点项目课题、国家自然科学基金面上项目等支持下，针对相关制造领域微米尺度、纳米尺度、跨尺度微纳表面结构精密测量问题开展了系列研究。本成果技术主要包括以下方面：提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法；提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度测量的可溯源标定和坐标统一方法；提出了白光干涉质量评价模型和三维图像噪声区域辨识与重建方法，及二维扫描工作台平面度误差阿贝补偿与二维运动同步计量方法，为跨尺度微纳表面结构高精度测量提供支撑。

1、本成果项目研制了具有我国自主知识产权的白光干涉原子力探针扫描测量仪等系列微纳表面结构测量仪器，并通过了国家计量院组织的仪器性能和软件的检定测试，纳米尺度原子力垂直测量范围超出国际商用仪器10倍以上，水平动态范围达国际领先水平。 2、突破了跨尺度微纳传感瓶颈，解决了大动态范围微纳结构测量难题，实现了nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量。 3、突破了白光干涉与原子力探针跨尺度微纳传感的坐标统一瓶颈和漂移难题，实现了微纳表面结构跨尺度测量的可溯源和稳定高精度。 4、解决了噪声问题与宏微驱动二维工作台运动误差对测量精度的影响问题，为跨尺度微纳表面结构高精度测量提供支撑。 5、发明的白光干涉原子力探针扫描测量方法与现有商用原子力显微镜相比，垂直测量范围提高10倍，分辨率优于***。

刘晓军，华中科技大学教授、博士生导师，仪器科学与技术系主任，全国高校互换性与测量技术研究会秘书长、教育部制造技术国际标准研究中心副主任、武汉标准化协会副理事长、中国计量测试学会计量仪器专业委员会委员。主要从事工程表面形貌精密测量分析及标准化、激光及光学测试技术、精密工程、工艺质量控制等方面研究。主持及参与国家自然基金项目、省自然基金项目、863重点项目、国家自然基金仪器专项、国家科技攻关计划项目等国家、省部级研究项目10余项。发表国内外期刊与会议论文50余篇。

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