科创中国
《磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范》团体标准
发布时间: 2023-09-26
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
新技术
行业领域：
航空航天技术,制造业,石油、煤炭及其他燃料加工业
成果介绍
本标准给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范一般术语及专用术语定义，介绍了现有的薄膜热电偶工作原理及基本组成，综合并给出了磁控溅射敏感薄膜的关键性能指标(溅射功率、溅射时间等)、保护层制备的需求指标，规定了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶的基本要求、操作人员规范等。
本标准可适用于钢铁冶金、航空航天等高温设备的温度测量；也适用于评估薄膜热电偶产品是否满足高温设备的温度测量需求。
成果亮点
本标准的制定填补了国内外关于磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器的空缺，不仅规定了相关术语、介绍了钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶，而且给出了钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶的制备工艺流程、敏感薄膜性能指标、磁控溅射法操作具体参数，给有关高温设备使用行业（如钢铁冶金行业、航空航天行业等）的相关企业带来了便利，同时也薄膜热电偶制备技术向更完整更健全的体系方向发展。
团队介绍
本标准起草单位：西安交通大学、中北大学、中冶赛迪工程技术股份有限公司、上海交通大学、清华大学、北京临近空间飞行器系统工程研究所、西安慧金科技有限公司。
主要起草人：张仲恺，雷嘉明，李乐，刘兆钧，田边，方续东，韩香广，赵立波，董和磊，漆锐，谭庆，余维江，钟星立，冯科，张丛春，阮勇，崔占中，李小杰。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”高端装备制造产业科技服务团 (中国机械工程学会) 评价时间：2023-11-20
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