科创中国
高分辨半导体显示器件及装备
发布时间: 2023-09-15
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术许可
成果类型：
发明专利
行业领域：
高新技术改造传统产业,高性能、智能化仪器仪表
成果介绍
高精细图案化技术是实现平板显示产业向高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。结合本单位开发的柔性显示电子级PI材料及制备技术，已推广应用于柔性显示屏的开发，以及高分辨医用平板探测器研发。由上海大学联合上海微电子装备（集团）股份有限公司，协同研发出 200*200mm型高精细平板显示用光刻机，解决了对位Mark 图形算法、对位 Mark 机器识别、柔性 TFT 基板翘曲对位等关键技术难题，实现了曝光精度2um、套刻精度±***的技术能力，为高精细平板显示用光刻机装备开发奠定技术基础；由上海大学联合上海奕瑞光电子科技股份有限公司，协同研发出基于氧化物半导体技术的高分辨医用平板探测器，掌握了医用平板探测技术高分辨制备核心工艺与技术。
成果亮点
自主开发用于平板显示高分辨率柔性显示光刻工艺及装备，以及高分辨医用平板探测器工艺协同开发：
（1）柔性基板光刻装备开发，解决柔性基板翘曲引入的对位误差、离焦等工艺缺陷；
（2）柔性高分辨技术，基于平板显示高分辨率柔性显示光刻装备，开发高分辨、高对位精度图形化；
（3）高分辨膜层技术，可开发特殊膜层下高分辨膜层工艺；
（4）氧化物半导体层工艺开发与应用，提升平板探测的分辨率及探测精度。
团队介绍
上海大学微电子学院于2019年11月成立，与张江实验室、中科院上海分院、嘉定区，和以上海微技术工业研究院、华虹集团、上汽集团、上海微电子装备（集团）、上海集成电路研发中心等为代表的集成电路及应用关键企业合作共建。学院立足上海集成电路“一体两翼”布局的嘉定翼，致力于通过产教融合、科教融合和学科交叉融合，建成准工业化、国际化的国际一流微电子学院，面向国民经济主战场，培养具有家国情怀、全面发展、卓越创新的集成电路行业紧缺人才，服务国家重大战略需求。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”技术交易专业科技服务团（上海） (上海技术交易所有限公司) 评价时间：2023-11-28
刘佳怡
上海技术交易所
技术经理
综合评价
该成果是实现高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。该成果技术的不断发展为未来显示领域提供了更多可能性，高精细半导体显示器件及装备的技术突破将进一步推动产业的发展。
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