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本发明提供了一种高镓组分CIGS柔性薄膜太阳能电池及其制备方法。该高镓组分CIGS柔性薄膜太阳能电池至少包括：柔性金属衬底层，形成于柔性金属衬底层上的背电极层，形成于背电极层上的高镓组分CIGS吸收层；其中，高镓组分CIGS吸收层的GGI≥***。该薄膜太阳能电池的制备方法包括以下步骤：在柔性金属衬底层上形成背电极层；在背电极层上形成高镓组分CIGS吸收层，得到高镓组分CIGS柔性薄膜太阳能电池。本发明的薄膜太阳能电池的吸收层中镓组分的含量增加，可以减少稀有元素铟的消耗，同时能够减小高镓条件下开路电压的损失，并且本发明的薄膜太阳能电池与太阳能光谱更加匹配，具有更高的效率。

一种高镓组分CIGS柔性薄膜太阳能电池，其至少包括： 柔性金属衬底层； 背电极层，其形成于所述柔性金属衬底层上； 高镓组分CIGS吸收层，其形成于所述背电极层上； 其中，所述高镓组分CIGS吸收层的GGI≥***； 所述高镓组分CIGS吸收层是通过以下方式形成于所述背电极层上的： 第一步：将具有背电极层的柔性金属衬底层加热至第一温度，共蒸镓、铟、氟化钠和硒至第一共蒸时间，然后共蒸镓、铟和硒至第二共蒸时间，形成掺杂Na的(In,Ga)Se2层； 第二步：将具有背电极层的柔性金属衬底层加热至第二温度，第一阶段共蒸铜和硒至第三共蒸时间，第二阶段共蒸铜、镓和硒至第四共蒸时间，第三阶段共蒸铜和硒至第五共蒸时间，形成富Cu的高镓组分CIGS层； 第三步：使具有背电极层的柔性金属衬底层自然降温，同时共蒸镓、铟和硒至第六共蒸时间，形成所述的高镓组分CIGS吸收层。

中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

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