科创中国

高新技术改造传统产业,工业生产过程控制系统

本发明提供了一种浸没式光刻机的温度控制方法，包括如下步骤： 通过热交换器使得厂务冷却水PCW与光刻机超纯水UPW进行换热，所述PCW的温度低于UPW的温度，以对UPW进行降温，以及利用加热器对UPW加热，以对UPW升温，对UPW温度进行粗调节，控制PCW的流量和加热器的功率以使得UPW温度快速达到UPW温度控制目标附近，并稳定保持； 对UPW温度进行粗调节时，检测PCW进行热交换前的温度、UPW进行热交换前的温度以及热交换和加热器控制后的UPW的温度，基于检测的三个温度值和所述UPW温度控制目标确定UPW粗调目标温度的轨迹、PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；以及根据检测的PCW进行热交换前的温度波动、UPW进行热交换前的温度波动，采用模糊规则自适应修正PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；

本发明提供一种浸没式光刻机的温度控制方法及装置，包括：通过热交换器使得PCW与光刻机UPW进行换热，以及利用加热器对UPW加热，以对UPW升温，对UPW温度进行粗调节时，基于检测的三个温度值和UPW温度控制目标确定UPW温度的轨迹、PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；采用模糊规则自适应修正PCW的流量控制模型以及加热器的功率控制模型；将粗调节后的UPW经过远传管路，通入光刻机内部经过半导体制冷片调节后分为两路UPW注液，通过两个加热器分别对两路UPW注液加热；对UPW温度进行精调节时，制冷片的调节量由两路UPW注液两个加热器的功率、两路UPW注液流量以及两路UPW注液的温度设定值确定。本发明提高了光刻机的温度控制精度。 信息查询

华中科技大学（Huazhong University of Science and Technology），简称华中大、华科大 ，位于湖北省武汉市，是中华人民共和国教育部直属的综合性研究型全国重点大学、位列国家“双一流”“985工程”“211工程”、入选“强基计划”“111计划”、卓越工程师教育培养计划、卓越医生教育培养计划、国家大学生创新性实验计划、国家级大学生创新创业训练计划、国家建设高水平大学公派研究生项目、国家级新工科研究与实践项目、基础学科拔尖学生培养计划***，是学位授权自主审核单位、全国深化创新创业教育改革示范高校、一流网络安全学院建设示范项目高校、中国政府奖学金来华留学生接收院校、教育部来华留学示范基地，为中欧工程教育平台成员和医学“双一流”建设联盟 、国际应用科技开发协作网 、全球能源互联网大学联盟成员。

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