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超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。光刻机是一个涉及精密机械、精密控制、精密测量等多学科的机电一体化的高端精密制造装各，其发展受到光学性能、电机性能、测量分辨率，机械加工能力、控制系统性能等各种条件的制约，设计能够保证光刻机高速高精度的控制器是提升光刻机性能的关键。分析了精密运动平台的结构，并建立了直线电机和音圈电机的数学模型，进而建立了单白由度宏微耦合运动模型和六自由度力学模型，能够反映多个电机共同作用下的运动特性。理论模型的建立

超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。

现代电子技术研究所现有教师11人，其中教授3人，博士生导师3人，省级教学名师2人，为国家级优秀教学团队, 工信部研究型教学团队。现代电子技术研究所针对电气工程学科的热点问题开展研究，研究方向主要包括超高精度标准计量仪器、智能图像处理及算法硬件加速、动力/储能电池管理新理论与新技术、跨尺度超精密机床控制技术/高精度多轴运动控制技术、高精度仪器仪表设计技术、大规模集成电路设计及硬件演化技术、电器可靠性分析与设计、电器质量一致性稳健设计等。研究所培养了大批专业人才，持续推动相关行业发展。