科创中国
温高可靠性650nm激光器
发布时间: 2023-08-30
来源: 科技服务团
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利,新品种,新技术
行业领域：
高端装备制造产业,智能制造装备产业
成果介绍
本项目旨在通过详细分析激光器外延层各材料参数，建立激光器结构模型，并利用椭偏仪测量、TEM测量、SEM测量等手段对激光器结构材料的模型参数进行修正，通过与激光器实际测量远场发散角结果进行对比。分析应变量子阱有源区的应变、厚度对激射波长 的影响，建立与实验测试结果直接对应的激光器模型体系；利用测试参数对器件模型优化，实际激光器接近的理论模型，以为后续特定激光器研发中的外延层参数设计和结构设计提供方向与指导意义。
成果亮点
分析激光器物理结构，激光器封装形式、封装工艺流程、热沉材质和芯片外观参数测量与分析。利用SEM、PL光谱、TEM、EDS等检测手段对样品AlGaInP量子阱激光器外延层材料进行表征。
团队介绍
公司拥有一支高素质的科技生产人员队伍，具有先进工艺设备，完善的质保体系，具有自主研发生产能力，广泛吸收广大用户建议和采用国内外新技术新材料，成功的研发出新一代的三用表校准仪，多功能校准仪，交直流标准源等产品。追求完善品质，倡导全新理念，取得了令人瞩目的业绩，推动了国内计量测试设备的更新换代。主要产品除在计量质检机构具有影响力的HG/DO30系列数字式三用表校准仪、多功能校准仪、多功能标准源、电能表检验装置 ；HG/CY系列电焊机现场校验仪外；还生产石油行业应用的储油罐智能综合测控系统；纺织印染行业广泛应用的电脑光电整纬机；社团各界应用的数字程控用户交换机等四大类几十个品种的仪器设备。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：“科创中国”山东科技服务团（示范项目） (山东省科学技术协会) 评价时间：2023-09-28
刘培德
山东财经大学
山东财经大学大数据与人工智能研究院院长、教授
综合评价
项目对AlGaInP/GaInP红光半导体激光器件的高温可靠性、输出模式和器件设计进行了理论分析和实验研究，改进了产品工艺、提升了产品参数指标，实现了高温高可靠性650nm激光器技术突破。
项目主要技术特点和创新
1.研发了一种高应变低缺陷的量子阱生长和量子垒应力补偿技术，实现了650nm激光器在85度高温下可靠性的提升。
2.采用对称式、非对称式片上模式滤除结构设计，有效地减少了激光器高阶模式输出，实现了激光器基模输出纯净度的提升。
3.采用腔面非载流子注入区设计和低能离子腔面处理技术，减少了激光器腔面缺陷，提高了稳定性。
四、项目成果通过了第三方机构检测，已在PM2.5检测、光纤通信等领域推广应用，经济、社会效益显著。
该成果在650nm激光器结构设计、高温可靠性方面有创新，达到国内领先水平。
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