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一种晶圆级二维材料的洁净转移方法

发布时间: 2023-08-24

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式: 技术许可
成果类型: 发明专利,新技术
行业领域:
新材料技术
成果介绍
本发明涉及一种晶圆级二维材料的洁净转移方法,属于二维材料转移技术领域。
成果亮点
具体方法为:在铜层上旋涂制备聚合物薄膜,再利用电化学法分离出聚合物薄膜,随后采用铜箔/二维材料衬底将其捞取获得聚合物薄膜/二维材料/铜箔,刻蚀法去除铜箔后以目标衬底捞取获得聚合物薄膜/二维材料/目标衬底,最后采用硅胶膜物理粘附去除聚合物薄膜获得二维材料/目标衬底,从而实现二维材料的洁净转移。该方法采用含大侧基官能团的丙烯酸酯类聚合物作转移介质,通过预制聚合物薄膜并结合硅胶膜物理去除聚合物薄膜,削弱了聚合物薄膜与二维材料间的相互作用力,避免了聚合物在二维材料表面的残留,转移的二维材料具有表面干净、均匀完整、聚合物残留少的特点。
团队介绍
重庆大学,简称重大,旧称四川省立重庆大学、国立重庆大学,位于中国重庆市,是教育部直属,是一所以理工学科为侧重点的综合性大学。重庆大学在1929年由中华民国军事将领刘湘创办,校址最初设于渝中区菜园坝,1933年迁至现址沙坪坝区嘉陵江江畔。2000年,原重庆大学、重庆建筑大学、重庆建筑高等专科学校合并组成新的重庆大学。 重庆大学是中华人民共和国顶尖高校之一,是双一流A类和原985工程、原211工程重点建设大学,同时入选2011计划、111计划、卓越工程师教育培养计划、卓越法律人才教育培养计划、海外高层次人才引进计划、中国政府奖学金来华留学生接收院校、教育部来华留学示范基地、国家建设高水平大学公派研究生项目。 该校也是中俄工科大学联盟、国际商管学院促进协会、工商管理硕士协会、欧洲质量改善系统、中英大学工程教育与研究联盟、重庆市大学联盟、中国酿酒高校联盟、卓越大学联盟成员。是中国著名的建筑老八校和电气五虎 (页面存档备份,存于互联网档案馆)之一。
成果资料